数码型三目晶圆检测显微镜(微分干涉金相显微镜)：DMM-5000D

一、晶圆检测显微镜(微分干涉金相显微镜)仪器的主要用途和特点     DMM-5000晶圆检测显微镜(微分干涉金相显微镜)采用优质的无限远光学系统，同时配备明暗场通用的长工作距离平场 平场消色差物镜，多光路的系统设计，可同时支持双目镜筒观察和数码摄像装置观察。DMM-5000倒置金相显微镜可广泛应 用于研究金属的显微组织，能在明场、暗场、偏光、微分干涉下进行观察和摄影，配备专用软件，更可同步进行测量分析 。可供研究单位、冶金、机械制造工厂以及高等工业院校进行金属学与热处理、金属物理学、炼钢与铸造过程等金相试验 研究之用。DMM-5000高级正置金相显微镜，选用优质的光学元件，配有超大视场目镜、落射照明器、平场无限远长工作距 离明暗场物镜，可选用微分干涉（DIC）观测、获得高清晰的图像，使图像衬度更好。是针对半导体晶圆检测、太阳能硅片 制造业、电子信息产业、治金工业开发的，作为高级工业金相显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察，广泛 用于工厂、研究机构、高等院校对太阳能电池硅片、半导体晶圆检测、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。    DMM-5000D电脑型晶圆检测显微镜(微分干涉金相显微镜)是将精锐的光学显微镜技术、先进的光电转换技术、尖端的计 算机成像技术完美地结合在一起而开发研制成功的一项高科技产品。既可人工观察金相图像,又可以在计算机显示器上很方 便地适时观察金相图像，并可随时捕捉记录金相图片,从而对金相图谱进行分析,评级等,还可以保存或打印出高像素金相照 片。

二、晶圆检测显微镜(微分干涉金相显微镜)仪器的主要技术指标 金相显微镜组件及规格 光学系统 无穷远光学系统 主机 DMM-5000倒置金相显微镜主机 目镜 大视野 WF10X(Φ22mm) WF15X(Φ16mm) WF20X(Φ12mm) 平场分划 10X/Φ20mm(0.10mm/格值) 物镜 无限远长工作距离平场消色差 （明暗场通用） 放大倍数/数值孔径 有效工作距离 PL5X/0.12 10 PLL10X/0.25 10 PLL20X/0.4 5 PLL50X/0.75 1.3 PL100X/0.9 0.7 目镜筒 三目镜 铰链式，倾斜45度，分光比：观察80% 摄影20%；或观察100% 摄影100% 滤片组 内置转盘式（绿色、蓝色、黄色、灰色、毛玻璃） 物镜转换器 五孔物镜转换器 调焦机构 同轴粗微动调焦机构, 调焦范围15mm 微动格值2μm 行程（从载物台表面焦点起）：向上1mm，向下7mm 载物台 台面尺寸：226mm*178mm 平台压片两只 小平台：水滴型、小孔、大孔各一 照明系统 落射照明15V50W，卤素灯，中心、亮度连续可调 机械移动平台 移动范围：40mm*40mm 微分干涉 可使用于5X、10X、20X、50X、100X   三、晶圆检测显微镜(微分干涉金相显微镜)系统的组成 1、金相显微镜DMM-5000　　　　　　 　　　   2、数码适配镜 3、彩色数码相机(CCD) 4、计算机（选购）   四、晶圆检测显微镜(微分干涉金相显微镜)选购部分 1.金相分析软件   五 、晶圆检测显微镜(微分干涉金相显微镜)同类仪器的比较 1、DMM-5000C电脑微分干涉显微镜 2、DMM-5000D数码微分干涉显微镜

 更多参数请参考上海蔡康光学仪器厂网站 http://www.shkon.com.cn