金相显微镜要想获得高质量的抛光效果，最重要的是要具备有高质量的油石、砂纸和钻石研磨膏等抛光工具和辅助品。而抛光程序的选择取决于前期加工后的表面状况，如机械加工、电火花加工，磨加工等等。机械抛光的一般过程如下：
　　（ 1 ）粗抛 经铣、电火花、磨等工艺后的表面可以选择转速在 35 000 —40 000 rpm 的旋转表面抛光机或超声波研磨机进行抛光。常用的方法有利用直径Φ 3mm 、 WA # 400 的轮子去除白色电火花层。然后是手工油石研磨，条状油石加煤油作为润滑剂或冷却剂。一般的使用顺序为 #180 ~ #240 ~ #320 ~ #400 ~ #600 ~ #800 ~ #1000 。许多模具制造商为了节约时间而选择从 #400 开始。

　　（ 2 ）金相显微镜半精抛 半精抛主要使用砂纸和煤油。砂纸的号数依次为： #400 ~ #600 ~ #800 ~ #1000 ~ #1200 ~ #1500 。实际上 #1500 砂纸只用适于淬硬的模具钢（ 52HRC 以上），而不适用于预硬钢，因为这样可能会导致预硬钢件表面烧伤。
　　（ 3 ）精抛 精抛主要使用钻石研磨膏。若用抛光布轮混合钻石研磨粉或研磨膏进行研磨的话，则通常的研磨顺序是 9 μ m （ #1800 ） ~ 6 μ m （ #3000 ） ~3 μ m （ #8000 ）。 9 μ m 的钻石研磨膏和抛光布轮可用来去除 #1200 和 #1500 号砂纸留下的发状磨痕。接着用粘毡和钻石研磨膏进行抛光，顺序为 1 μ m （ #14000 ） ~ 1/2 μ m （ #60000 ） ~1/4 μ m （ #100000 ）。
　　精度要求在 1 μ m 以上（包括 1 μ m ）的抛光工艺在模具加工车间中一个清洁的抛光室内即可进行。若进行更加精密的抛光则必需一个绝对洁净的空间。灰尘、烟雾，头皮屑和口水沫都有可能报废数个小时工作后得到的高精密抛光表面。