微分干涉显微镜又称镜检术
普西森精密仪器有限公司的8"×8"快速移动载物台，是国内首家自己设计生产的，完全满足8"以下的所有LCD、IC晶圆等大尺寸的快速检测。SQ200A微分干涉显微镜为南京普西森精密仪器有限公司自己设计和生产的产品，普西森微分干涉显微镜的长远计划——不再依赖进口产品，从而更好的控制了金相显微镜价格成本，以及解决国外产品交期长的问题。
微分干涉金相显微镜又称镜检术，是利用特制的渥拉斯顿棱镜来分解光束。分裂出来的光束的振动方向相互垂直且强度相等，光束分别在距离很近的两点上通过被检物体，在相位上略有差别。由于两光束的裂距极小，金相显微镜而不出现重影现象，使图象呈现出立体的三维感觉。
普西森SQ200微分干涉显微镜配置偏振系统及微分干涉系统，可实现COG中粒子及爆破检测，可实现TAB检测；具备起偏器和检偏器，可做偏光检测，在半导体和PCB检测中，可消除杂光，细节更清楚；可加载微分干涉器，实现微分干涉观察，在COG中，可清晰观察3-5um的粒子；整个市场干涉色彩均匀；内设偏振光和DIC，可建立诺曼尔斯基微分干涉衬比法系统，可对LCD导电粒子检查。